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首页自立产物光学膜厚仪
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TF200-VIS光学膜厚仪

产物属性

产地:国外

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仪器引见

 TF200薄膜厚度丈量体系操纵薄膜干预光学道理,对薄膜停止厚度丈量及阐发。用从深紫外到近红外可选配的宽光谱光源映照薄膜外表,探头同位领受反射光芒。TF200按照反射返来的干预光,用重复校准的算法快速反演计算出薄膜的厚度。丈量范畴1nm-3mm,可同时完成多层膜厚的测试。关于100nm以上的薄膜,还能够丈量nk值。

产物特性

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产物特性

快速、精确、无损、灵敏、易用、性价比高


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使用实例

应用领域

                                                          

半导体(SiO2/SiNx、光刻胶、MEMS,SOI等)         LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亚酰胺ITO等)              LED (SiO2、光刻胶ITO等)


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触摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率测试等)                 汽车(防雾层、Hard Coating DLC等)           医学(聚对二甲苯涂层球囊/导尿管壁厚药膜等)

技术参数

型号

TF200-VIS

TF200-EXR

TF200-DUV

TF200-XNIR

波长范畴

380-1050nm

380-1700nm

190-1100nm

900-1700nm

厚度范畴

50nm-40um

50nm-300um

1nm-30um

10um-3mm

准确度1

2nm

2nm

1nm

10nm

精度

0.2nm

0.2nm

0.2nm

3nm

入射角

90°

90°

90°

90°

样品质料

通明或半透明

通明或半透明

通明或半透明

通明或半透明

丈量模式

反射/透射

反射/透射

反射/透射

反射/透射

光斑尺寸2

2mm

2mm

2mm

2mm

能否能在线

扫描挑选

XY可选

XY可选

XY可选

XY可选

注:1.取决于质料0.4%或2nm之间取较大者。

2. 可选微光斑附件。

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